英特尔宣布已安装全球最先进光刻机近日，英特尔宣布已安装了新的TWINSCAN EXE:5200B系统。这是目前全球最先进的光刻机，属于第二代High-NA EUV，将用于Intel 14A制程节点。在ASML的合作下，已完成Intel ...

作为ASML第二代High-NA EUV系统，EXE:5200B基于2023年交付英特尔的首台研发机型EXE:5000升级而来，核心突破在于其0.55数值孔径（NA）的投影光学系统。相较当前主流的Low-NA ...

IT之家 12 月 16 日消息，英特尔代工官方当地时间昨日宣布，其已同 ASML 实现了首台“二代”High NA EUV 光刻机 TWINSCAN EXE:5200B 的“验收测试”。 相较主要用于工艺前期研发的“一代”机型 EXE:5000，EXE:5200B 身上的“量产用设备”味道更浓：其配备了更高功率 / 剂量的 EUV 光源， 晶圆吞吐量提升到每小时 175 块； 套刻精度提升至 0 ...