MEMS 器件广泛应用于汽车电子、消费电子、生物医学和工业制造等各个领域。随着物联网、智能设备的发展，MEMS 器件的需求正在快速增长。工程人员可以使用仿真技术模拟 MEMS 器件中涉及的多种物理现象，深入理解其工作原理，从而优化 MEMS 器件的设计和性能 ...