SmartView®NT自动键合对准系统是一款用于通用对准的全自动设备，提供微米级面对面晶圆对准的专有方法。适用于200毫米和300毫米配置的自动化和集成式EVG粘合系统，支持多种对准模式，无需Z轴运动。该系统与GEMINI晶圆键合系统结合使用，可在全自动平台上进行永久键合，适用于3D互连、晶圆级封装 ...